一、不攜入

在潔凈車間內不攜入微粒子的方法有：

1）作業員進入潔凈車間前，機臺、零件攜入前應進行清潔處理；

2）進入潔凈車間者在更衣室要穿著不發塵、不產生靜電的具特殊導電性纖維材質的無塵服、帽、鞋、手套、口罩等。

3）通過風淋室時利用高速干凈空氣除去附在衣服表面的粒子后，才能進入潔凈車間。

4）機器及材料帶進潔凈車間前，應盡可能在密封狀態下帶進潔凈車間前室保養后用超純水擦拭，經風淋室吹淋后才進入潔凈車間。

5）潔凈車間中須全程穿戴密閉式安全帽及佩戴附有filter的排氣用小型fan于腰間。

二、不制造

在控制最大污染源--人在凈化車間內的微粒子發塵量的同時，也應控制第二大污染源—制造機臺的發塵量。因物品在移動時，所產生的摩擦及接觸剝離會造成發塵，而物品在移動時也會有微粒子的發生。故為了控制發塵量達到最小限度應采取以下對策：

1）減少接觸剝離發塵的動作形態；

2）采用磨耗發塵小的材質；

3）采用發塵小的潤滑油；

4）機臺應用空壓浮上的非接觸化工作原理。

三、不儲備

若能徹底實施“不攜入”技術，潔凈室內的潔凈度就可以維持。但現實中人和物品的頻繁出入及制造機臺的掣動，在廣大的潔凈車間內要有完全潔凈度是不可能的。因此“不儲備”技術快速地在過濾器中應用以除去已發生的微粒子變得非常重要。通常已發生的微粒子會依據重力及靜電吸附力而停留在周邊的物體表面。突發性的振動及不穩定的氣流會使這些累積微粒在空氣中再度揚起，增加了重大微粒子污染的危險性。

四、排除/除去 

在無法避免大量微粒子發生的機臺中，為了不讓潔凈車間內產生微粒子，因此直接做對外排氣的動作，即所謂的局部排氣。針對排氣的對策如下：由于導入同量的外氣是必要的，但會伴隨大量的能源消耗。所以無法說是絕對理想的對策。因此盡可能地在壓縮排氣量的同時，不僅僅是向潔凈室外排氣，而應采用將除去粒子后的空氣再回流到潔凈車間內之對策。